Сканерлеу (SP25/SP80)

Сканерлеу датчиктері 0,02 мкм ажыратымдылығы бар салыстырып оқу бастиегін пайдалану арқылы өте жоғары дәлдікпен ерекшеленеді.

SP25M жанасатын сканерлеу датчигі 
Датчиктің диаметрі небәрі 25 мм, бірақ сонымен бірге ол сканерлеу және жанасу триггері өлшеу модульдерінің толық жиынтығымен жабдықталған және бір корпуста екі датчикті қоршайды. Бұл датчик әлемдегі ең ықшам және әмбебап сканерлеу байланыс-өлшеу жүйесі болып саналады.

SP80 жоғары дәлдіктегі жанасатын сканерлеу датчигі
Өз санатында тамаша сканерлеу сипаттамаларын қамтамасыз етеді. Датчиктің өнімділігі мен функционалдығы ұзын сүңгілермен жұмыс істеу мүмкіндігінің арқасында кеңейтілді. SP80 цифрлық шкала мен 20 нм оқу бастарын пайдаланады. Датчик бөлшектердің ішіне ұзындығы 1000 мм-ге дейін және салмағы 500 г болатын сүңгілермен, соның ішінде теңдестіруді қажет етпейтін жұлдыз тәрізді сүңгілермен терең енеді.